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压电薄膜

发布时间:2018.12.12

  安徽奥飞声学科技有限公司,简称为奥飞声学。公司成立于2017年12月18日。主要产品是压电薄膜和使用压电薄膜(PZT、ZnO压电薄膜)的声学MEMS传感器,用于听筒和麦克风。创始团队来自于北京中科院声学所与中国空间技术研究院,在声学与传感器方面有多年的技术积累,相关产品已经在实验室完成了样品试制。目前在听筒领域尚无采用MEMS工艺的相关产品,公司的规划产品压电式MEMS听筒若顺利量产并得到市场验证,市场规模相当可观。


核心产品展示:

1、压电薄膜

  在MEMS应用领域,压电薄膜主要包括氮化铝、氧化锌和PZT三种压电材料。相对而言,PZT压电膜由于具有优良的压电性能,在各种MEMS执行器(如声学上最为典型的是MEMS压电扬声器和微压电超声指纹识别传感器)中有十分广泛的应用。另外,由于PZT压电膜优良的铁电、热释电等性能,它还在铁电存储器、集成无源器件、红外成像传感器等方面有着重要的应用。


2、压电式MEMS听筒

  相对于传统的听筒它具有体积小、功耗低、音响好等优点。然而目前MEMS工艺在听筒领域尚未普及,传统电动式虽然灵敏度相对较高但无法用MEMS方法实现,电容式MEMS又存在缺陷,目前厂商均以压电MEMS为可行性替代方案进行研究。


3、压电式MEMS麦克风

  相对于传统的麦克风它具有体积小、一致性好、成本低、集成度好等优点。正是由于这一优点,目前手机等电子产品中的麦克风基本上都是采用MEMS技术制造的,只不过现阶段应用的都是电容式。相对于MEMS电容式麦克风,压电式具有防尘、防水,信噪比高,频响特性好等优点。




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